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Bpure Series 立式/臥式管舟清洗機
Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System
Bpure系列立式/臥式管舟清洗機廣泛應用于集成電路、封裝、光伏等領域。采用浸泡式處理工藝,主要用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外,也可以用于清洗其它石英材質的零部件,如石英板、點火炮、保溫桶等。
設備特點
晶圓尺寸
8、12 英寸
適用材料
石英、碳化硅
適用工藝
石英管/ 舟、石英板、點火炮、基座等零部件浸泡式清洗
適用領域
集成電路、功率半導體、化合物半導體、科研領域